Криволинейен OPC двигател
Криволинейният OPC двигател Calibre може да преобразува правоъгълни форми в криволинейни модели и да гарантира, че целта на EPE е постигната. Той извършва проверки за печат SRAF за извити форми и прилага MRC ограничения едновременно, за да осигури висококачествено генериране на криволинейни маски.
Бързо криволинейно OPC решение с пълен чип
Calibre nmCLOPC позволява хибридния ILT криволинейен OPC поток, който осигурява необходимото литографско качество с по-бързо време на изпълнение, отколкото при пълно ILT решение. Този поток може да се използва за генериране на криволинейни маски, необходими за силициевата фотоника, или за праволинейни дизайни за логика или памет.
Естествено криволинейно представяне на многоъгълник
За разлика от традиционните OPC двигатели, които разчитат на движението на ръба в Манхатън, Calibre nmCLOPC прилага естествено криволинейно представяне на многоъгълника със сплайни на Bezier и извършва корекция, базирана на шини, като премества „OPC крива“. Този нов формат не само облагодетелства подобряването на точността, но и смекчава експлозията на размера на данните, въведена от криволинейните маски.
Усъвършенствани решения за моделиране на OPC за криволинейни маски
Основният модел Calibre OPC може точно да моделира ефектите на 3D електромагнитното поле на маската за криволинейни маски. Използването на SEM контури за калибриране на модела към криволинейни модели му позволява да опише реалното поведение на вафлата. Усъвършенстваната технология Calibre NMClopc увеличава правата за литография и постига необходимата точност на OPC.
Готови ли сте да научите повече за Calibre?
Ние сме готови да отговорим на вашите въпроси! Свържете се с нашия екип днес
Обадете се на: 1-800-547-3000
Консултантски услуги за калибър
Ние ви помагаме да възприемете, внедрите, персонализирате и оптимизирате вашите сложни дизайнерски среди. Директният достъп до инженеринг и разработване на продукти ни позволява да се възползваме от задълбочен опит в областта и темата.
Център за поддръжка
Центърът за поддръжка на Siemens ви предоставя всичко на едно лесно за използване място -
база знания, актуализации на продукти, документация, случаи на поддръжка, информация за лицензи/поръчки и др.
Дизайн и производство на калибър IC
Пакетът инструменти Calibre осигурява точна, ефективна, цялостна проверка и оптимизация на IC във всички възли на процеса и стилове на дизайн, като същевременно свежда до минимум използването на ресурси и графиците за изрязване.