Корекция на процеса на маска (MPC) за криволинейни дизайни
Calibre NMCLMPC извършва корекция на процеса на маска (MPC) за входни оформления с криволинейни многоъгълници, като тези, произведени от Inverse Litography Technology (ILT) OPC, както и силициеви фотонни структури.
Иновативна фрагментация, базирана на крива
Фрагментацията, базирана на крива, в двигателя Calibre NMCLMPC определя дължината на фрагмента на ръба въз основа на локалната кривина и осигурява изход, възможен за криволинейна корекция на MPC. Тази функция се опитва да оптимизира съвместно размера на файла, точността и времето за изпълнение за корекция на процеса на криволинейна маска.
Възможност за постигане на бърза конвергенция
Calibre NMCLMPc може да се използва с предварително отклонение, базирано на крива, за да се даде възможност за бърза конвергенция за криволинейни MPC. Методът за предварително отклонение, базиран на крива, намалява броя на необходимите итерации, без да влошава точността на корекцията и спестява време на изпълнение.
Възможност за едновременна корекция
Calibre NMCLMPc може да коригира криволинейни и правоъгълни форми в един цикъл, като прилага същите правила като в стандартна рецепта към правоъгълните форми.
Готови ли сте да научите повече за Calibre?
Ние сме готови да отговорим на вашите въпроси! Свържете се с нашия екип днес
Обадете се на: 1-800-547-3000
Консултантски услуги за калибър
Ние ви помагаме да възприемете, внедрите, персонализирате и оптимизирате вашите сложни дизайнерски среди. Директният достъп до инженеринг и разработване на продукти ни позволява да се възползваме от задълбочен опит в областта и темата.
Център за поддръжка
Центърът за поддръжка на Siemens ви предоставя всичко на едно лесно за използване място -
база знания, актуализации на продукти, документация, случаи на поддръжка, информация за лицензи/поръчки и др.
Дизайн и производство на калибър IC
Пакетът инструменти Calibre осигурява точна, ефективна, цялостна проверка и оптимизация на IC във всички възли на процеса и стилове на дизайн, като същевременно свежда до минимум използването на ресурси и графиците за изрязване.