Calibre Curvilinear MDP

Изискванията за моделиране на литографските процеси от следващо поколение и необходимостта от намаляване на производствените разходи принудиха литографите да изследват предимствата на криволинейните маски. Множество проучвания, подкрепени от експерименталните резултати, показват литографското предимство на криволинейните фотомаски пред праволинейните приближения. Производителността на криволинейните маски е ограничена поради архитектурата на писателите на лъчи с променлива форма, което я направи забранителна както от гледна точка на подготовката на данни за маски, така и от гледна точка на писане на маски. Наличието на писатели на многолъгълни маски премахна тези пречки и доближи въвеждането на криволинейни маски много по-близо до реалността.

Прочети Криви напред! IC производството се подготвя за криволинейни маски за да научите повече за ползите от криволинейните маски.

Пакетът инструменти Calibre Curvilinear MDP позволява безпроблемно продължаване на манипулациите с данни, необходими за техниките за подобряване на разделителната способност (RET), като вмъкване на функции за подразделителна способност (SRAF) и оптична корекция на процеса (OPC) и корекция на процеса на маска (MPC) към преобразуване на формат на данни на маската в едно пакетно изпълнение.

Традиционно писателите на мултилъчеви маски поддържат данни от Piecewise-Linear (PWL) в своите пътища за данни. Наскоро доставчиците на писатели на мултилъчеви маски въведоха естествена поддръжка на многоъгълници на ново поколение инструменти за писане на мултилъчеви маски. Целта на многоъгълника е да представи криволинейни данни с естествен формат на кривата за уплътняване на размера на файла в потоците на маските. Броят на върховете, използвани за представяне на многоъгълните данни, е значително по-малък от върховете, използвани за представяне на данните на Piecewise-Linear, което води до намаляване на размера на файла от използването на естествени криви за криволинейни данни.

Изображението по-долу показва пример за PWL вляво и многоъгълник отдясно.

Решението Calibre Curvilinear MDP поддържа множествени фрактурни потоци, базирани на многоъгълник и е активирано с най-новите мултилъчеви формати като MBW 3.0 от IMS и MBF 2.1 от NuFlare.

• Проверка на разстоянието на многоъгълника: Проверката на разстоянието на многоъгълника е предназначена да измерва разстоянието между участъците на сплайн на многоъгълни слоеве, като гарантира спазването на проектните ограничения.
• Проверки на широчината на многоъгълника и съотношението на широчината на дълбочината: Проверката на ширината на дълбочината гарантира, че минималната ширина на многоъгълна форма е в приемливия диапазон, особено когато се измерва в даден диапазон на дълбочината.
• Проверка на ъгъла на многоъгълника: Проверката на ъгъла оценява геометрията на многоъгълника чрез изчисляване на ъгъла на шлайна във всяка интересна точка (POI) за определен радиус.
• Проверка на кривината на многоъгълника: Проверката на кривината е предназначена да оцени гладкостта и качеството на огъване на всяка секция на шлайна на Bezier в рамките на многоъгълник чрез изчисляване на минималния радиус на кривина по неговия контур.

Снимката по-горе показва примери за външна проверка на разстоянието (горе вляво), вътрешна проверка на разстоянието (горе вдясно), откриване на шипове (долу вляво) и проверка на дълбочината на ширината (долу вдясно).